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致力于先进陶瓷材料的研发与制造

精密陶瓷吸盘

高平整度真空吸附，适配晶圆搬运

晶圆载盘

耐高温耐腐蚀，适配高温制程

静电吸盘 ESC

晶圆级静电吸附