高平整 · 高耐磨 · 耐高温腐蚀
平面度 ≤1μm，支持非标定制
严苛品控，稳定交付
专业提供半导体设备关键零部件国产化解决方案
高平整度真空吸附，适配晶圆搬运
耐高温耐腐蚀，适配高温制程
晶圆级静电吸附
晶圆搬运与制程装备核心部件
高温工艺部件与结构件
超精密加工零件
